Project Description
Mikroelektromechanische Systeme (MEMS)
Projektdauer: Januar 2015 - April 2017
Das verfolgte Ziel dieses Kooperationsprojektes ist die Entwicklung eines hybriden piezoelektrischen/ elektrostatischen Mikrospiegels und einer Steuerungstechnik welche die Anwendung mittels optischer Kohärenztomographie (OCT) ermöglicht. An diesem Projekt sind drei Partner beteiligt: Preciseley Microtechnology Corporation, Electronic Design Chemnitz GmbH und Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme. Priceseley wird das MEMS Gerät entwerfen, die Verpackungstechnologie entwickeln und einen Prototypen anfertigen. Electronic Design Chemnitz wird einen anwendungsspezifischen integrierten Schaltkreis entwickeln und herstellen welcher piezoelektrischen Antrieb und Positionsrückmeldung ermöglicht. Das Fraunhofer-Institut wird weiter an der Entwicklung von piezoelektrischen Materialien forschen und die Integration dieser Materialien in den OCT Scanner vorantreiben.
Preciseley Microtechnology Corporation
Location: Edmonton, Canada
Founded: 2006
Products: Key components for augmented reality devices
Electronic Design Chemnitz GmbH (EDC)
Location: Chemnitz, Germany
Founded: 2008
Products: electronic systems/chip manufacturing
Fraunhofer Institute for Electronic Nano Systems (ENAS)
Location: Chemnitz, Germany